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磁控反应溅射纳米薄膜的制备及表征

实验编号:67
项目名称:磁控反应溅射纳米薄膜的制备及表征
实验时数:0课时
所属课程:新型材料制备方法
实验课件:           无
教学视频:
项目介绍:

1.掌握磁控溅射法制膜的基本原理 2.了解多功能磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围 3.了解纳米薄膜的表征方法