详细内容

磁控反应溅射纳米薄膜的制备及表征


实验编号:118
项目名称:磁控反应溅射纳米薄膜的制备及表征
实验时数:4课时
所属课程:新型材料制备方法
实验课件:           无
教学视频:
项目介绍:

 掌握磁控溅射法制膜的基本原理;了解多功能磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围;了解纳米薄膜的表征方法。