| 设备名称： | 纳米力学综合测试系统 |
| 设备用途： | 教学 |
| 设备型号： | CPX+NHT+MST |
| 设备来源： | 购置 |
| 经费科目： | 教育事业费 |
| 所在房间： | 新实验楼二层楼218室 |
| 设备简介： | 一、纳米压痕测试功能 对于材料、薄膜或器件进行纳米压入测试，可以测试压入硬度，弹性模量、蠕变，断裂韧性，弹性功、塑性功，存储模量、损耗模量，硬度及模量随样品深度变化等样品的各种力学参量。可以用于研究材料的疲劳特性等。二、微米划痕测试功能 可以测试薄膜和基底的附着力，划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。 |